芯片微裂纹的片上探测方法及电路

摘要

在芯片制造或加工过程中，芯片将不可避免地受到外力作用，可能产生微裂纹，但它们不能通过测试筛选出来，从而成为合格品。随着芯片产品的运输和使用，微裂纹可能导致芯片失效，或者导致芯片性能下降，进而影响芯片工作，甚至对系统产生损害。本发明提出了在芯片上集成微裂纹探测电路的方法及电路实现，可以根据芯片应用的需要对微裂纹探测电路输出信号进行处理。