一种降低硅基薄膜电池串联电阻的工艺

摘要

本发明属于半导体太阳能薄膜电池加工领域，特别涉及一种降低硅基薄膜电池串联电阻的加工工艺。本发明在背电极镀制工艺前加入清洗/离子轰击等工艺方案；在现有激光划线之后，通过清洗或者等离子轰击工艺在TCO表面产生绒面，增加TCO与后续金属层的接触面积，从而减小接触电阻，降低电池的串联电阻。