法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-02-04
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/44 申请公布日:20090624 申请日:20060314
发明专利申请公布后的驳回
2009-08-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-06-24
公开
公开
机译: 半球形晶粒硅和纳米晶粒尺寸多晶硅的单晶片热CVD工艺
机译: 半球形晶粒硅和纳米晶粒尺寸多晶硅的单晶片热CVD工艺
机译: 单晶片热CVD工艺用于半球形粒状硅和纳米晶粒尺寸的多晶硅