低温泵、低温泵单元、包括低温泵单元的真空处理设备以及低温泵再生方法

摘要

本发明提供一种低温泵、低温泵单元、包括低温泵单元的真空处理设备以及低温泵再生方法，该低温泵再生方法，其包括升高低温板的温度以使冷凝在低温板的排气表面上的气体分子蒸发的升温步骤、抽空泵容器的抽空步骤、确定泵容器的内部压力是否已经达到比0℃的水蒸汽压力高的设定压力的确定步骤、停止抽空并执行压力升高测试的压力升高测试步骤、以及基于泵容器的内部压力观测残留水分的观测步骤。