一种半导体激光器激光功率实时在线检测装置

摘要

本发明是一种半导体激光器激光功率实时在线检测装置，属于激光光电检测领域。本装置包括分光镜、激光输出功率检测部分和工件反射光功率检测部分。本发明在半导体阵列激光器的光路中放置一片分光镜，从激光器输出的激光光束和从工件反射光光束中分出来两部分光束，针对半导体激光光束强度在空间上分布不均匀的特点，分别对两束光进行光强匀化和衰减，之后再进行放大滤波得到与激光器光功率和工件反射光功率成线性关系的电压信号，根据电压信号能够计算出激光器输出激光的光功率和工件反射的光功率。本发明实现了高功率半导体阵列激光器激光输出功率和加工时工件反射光功率的同时在线检测，该装置可以集成到高功率半导体阵列激光器的输出光路中。