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清理近场光学扫描装置的折射元件光学面的方法和用于清理近场光学扫描装置的折射元件光学面的清理设备

摘要

本发明提供用于清理近场光学扫描装置的折射元件光学面的方法和设备。使用磁性敏感的清理材料,以方便有效地清理折射元件,而不损坏该元件。如果希望的话,可以将根据本发明的方法与已知的清理方法相组合。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-03-23

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G11B7/12 公开日:20081224 申请日:20061206

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2009-02-18

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-12-24

    公开

    公开

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