法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-15
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/00 授权公告日:20121114 终止日期:20190524 申请日:20050524
专利权的终止
2012-11-14
授权
授权
2012-11-14
授权
授权
2007-12-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-12-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-10-24
公开
公开
2007-10-24
公开
公开
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机译: 支撑和独立式3-D微米或纳米结构的压印
机译: 支撑和独立式3-D微米或纳米结构的压印
机译: 用于压印微米或纳米结构的压印装置