高生产率的薄膜结晶过程

摘要

在一方面，一种处理薄膜的方法包括：定义要在膜内结晶的多个分隔的区，该膜置于衬底上并能用激光熔融；产生一系列激光脉冲，这些激光脉冲的流量，足以使被辐照区的膜在其整个厚度中熔融，每一脉冲形成有长度和宽度的线光束；在第一次扫描中，以一系列激光脉冲按选择的速度连续地扫描该膜，使每一脉冲辐照并熔融对应的分隔区的第一部分，其中该第一部分冷却后，形成一个或多个横向生长的晶体；以及在第二次扫描中，以一系列激光脉冲按选择的速度连续地扫描该膜，使每一脉冲辐照并熔融对应的分隔区的第二部分，其中，在每一分隔区中，该第一和第二部分部分地重叠，且其中该第二部分冷却后，形成一个或多个横向生长的晶体，这些晶体相对于第一部分的一个或多个横向生长的晶体伸延。