用于高数值孔径和浸润式光刻的分级式抗反射涂层

摘要

本发明提供一种利用分级抗反射涂层形成器件的方法。在基底上形成一层或多层无定形碳层。在一层或多层无定形碳层上形成抗反射涂层(ARC)，其中所述ARC层的吸收系数随着所述ARC层的厚度而改变。在所述ARC层上形成能量敏感抗蚀材料。通过将所述能量敏感抗蚀材料暴露于图案化的辐射下，将图案的图像导入能量敏感抗蚀材料层中。显影出导入能量敏感抗蚀材料层的所述图案的图像。