液滴喷头、液滴喷出装置、液滴喷头的制造方法以及液滴喷出装置的制造方法

摘要

本发明提供一种可实现喷嘴的高密度化且能防止喷嘴间的压力干涉的液滴喷头、液滴喷头的制造方法等。液滴喷头(10)至少具有：喷嘴基板(1)、具有喷出室(31)的腔室基板(3)、具有成为存液器(23)的存液器凹部(23a)的存液器基板(2)，在存液器凹部(23a)的内表面整体、和在存液器凹部(23a)的开口的周围形成有深度比存液器凹部(23a)浅的浅凹部(23c)的底面上，具有通过成膜形成的树脂薄膜(111)，成膜在浅凹部(23c)的底面上的树脂薄膜(111)，被切断成包围存液器凹部(23a)的环绕状，成膜在存液器凹部(23a)的底面上的树脂薄膜(111)的一部分成为缓冲压力变动的隔膜部(100)。