基于微机械电容式串联开关的可变叉指电容网络及制备方法

摘要

基于微机械电容式串联开关的可变叉指电容网络包括一系列的叉指电容和微电子机械开关，通过控制与叉指电容连接的微机械开关的通断来确定接入网络的叉指电容的个数从而可以改变整个网络的电容值。一种基于微机械电容式串联开关的可变叉指电容网络，其特征在于叉指电容以GaAs衬底1为衬底，在GaAs衬底1的上表面有传输线2，叉指结构3；微机械电容式串联开关以GaAs衬底1为衬底，在GaAs衬底1的上表面有传输线4和下拉电极7，在传输线4－2的一部分和下拉电极7上有一层SiN介质层8，在传输线4－1上有锚区5，锚区5与开关梁6的一端相连，使开关梁6悬空在SiN介质层8的上方。