微机械调制装置,微机械调制装置阵列，成像设备和设计微机械调制装置的方法

摘要

一种微机电调制装置，包括多个于此定义的可移动部分，以及多个于此定义的驱动部分，其中设置于此定义的动态拉入电压小于于此定义的保持电压，并且驱动部分通过驱动电压来驱动可移动部分，所述驱动电压大于或等于保持电压，其值小于或等于10V。