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用于增大光发射器件最大调制速度的方法、增大了最大调制速度的光发射器件及其量子阱结构

摘要

本发明公开的方法包括形成Al

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-10-07

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2007-09-05

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-06-13

    公开

    公开

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