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公开/公告号CN1948549A
专利类型发明专利
公开/公告日2007-04-18
原文格式PDF
申请/专利权人 大连理工大学;
申请/专利号CN200610134323.5
发明设计人 雷明凯;刘臣;信敬平;韩晓光;朱小鹏;
申请日2006-11-17
分类号C23C14/58;H01J37/305;H01J37/317;C23C14/24;F01D5/28;F02F3/10;
代理机构大连星海专利事务所;
代理人修德金
地址 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
入库时间 2023-12-17 18:29:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-06-03
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-06-13
实质审查的生效
2007-04-18
公开
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