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用强流脉冲离子束对电子束物理气相沉积涂层的封顶技术

摘要

材料表面改性领域中,用强流脉冲离子束对电子束物理气相沉积涂层的封顶技术,包括在耐高温的零部件基体1表面沉积金属粘结层2,陶瓷层3和建立陶瓷层表面的封顶层7,特征:在真空度0.8~1.1×10

著录项

  • 公开/公告号CN1948549A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2007-04-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 大连理工大学;

    申请/专利号CN200610134323.5

  • 申请日2006-11-17

  • 分类号C23C14/58;H01J37/305;H01J37/317;C23C14/24;F01D5/28;F02F3/10;

  • 代理机构大连星海专利事务所;

  • 代理人修德金

  • 地址 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号

  • 入库时间 2023-12-17 18:29:26

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2009-06-03

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2007-06-13

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-04-18

    公开

    公开

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