涂布机及使用该涂布机以涂布溶液涂布基板的方法

摘要

在一种涂布机及使用该涂布机来涂布基板的一种方法中，在第一清洗部件上准备第一涂布过程，并且支承单元上配有第一基板。存储有涂布溶液的涂布单元从第一清洗部件按第一方向移动，用涂布溶液涂布第一基板。在第二清洗部件上准备第二涂布过程期间，以第二基板替换第一基板。涂布单元从第二清洗部件按与第一方向相反的第二方向移动，用涂布溶液涂布第二基板。因此可节省涂布过程的时间和成本，从而提高涂布过程的总效率。