在镀覆金属至衬底表面上时自动控制多阳极配置的电流分布的方法及系统

摘要

一种结合控制器(250)而操作的电镀工具(200)，该控制器自动决定用于该镀覆工具的多阳极配置(102A、…102N)的个别的电流。该阳极电流的计算可以依据敏感度数据及测量数据以及依据所需的目标轮廓，以便即使对于具有多个工艺室的镀覆工具也能够实现对于工艺变化的快速反应。