在三元混合物中包含铜的PVD靶和形成含铜PVD靶的方法

摘要

本发明包括一种物理气相沉积靶，其含有铜和至少两种选自Ag、Al、As、Au、B、Be、Ca、Cd、Co、Cr、Fe、Ga、Ge、Hf、Hg、In、Ir、Li、Mg、Mn、Nb、Ni、Pb、Pd、Pt、Sb、Sc、Si、Sn、Ta、Te、Ti、V、W、Zn和Zr的其它元素，所述至少两种其它元素的总量为100ppm－10原子％。本发明还包括含有铜和至少两种添加元素的混合物的薄膜和互连件。本发明还包括含铜靶的形成。形成铜和两种或更多种元素的混合物。熔融浇铸该混合物，随后冷却形成坯锭，采用等径转角挤型和热机械加工中的一或二种方法对坯锭进行加工形成靶。