图像复原及光瞳滤波式横向超分辨共焦显微成像方法与装置

摘要

本发明属于显微成像及微观精密测量技术领域，涉及一种图像复原及光瞳滤波式横向超分辨共焦显微成像方法与装置，包括光源(1)，依次放在光源发射端的准直扩束器(2)、光瞳滤波器(3)，偏振分光镜(4)，放置在偏振分光镜(4)反射光路上的1/4波片(5)、显微物镜(6)，以及在偏振分光镜(4)透射光路上的聚光透镜(7)和位于聚光透镜(7)焦点位置的针孔(8)，贴近针孔后面的CCD探测器(9)。本发明融合了光瞳滤波超分辨技术以及图像超分辨复原技术，可显著改善共焦显微系统的横向分辨力。本发明可广泛用于对微电子、材料、工业精密检测、生物医学等领域中进行高分辨力显微成像检测。