用于有效载荷的洛伦兹电动机控制系统

摘要

用于控制多个洛伦兹电动机(1，2)的控制装置和方法，所述洛伦兹电动机致动一个具有重心(12)的有效载荷(4)。从感测所述有效载荷的高度的传感器接收高度信号(z1，z2)。根据这些高度信号(z1，z2)来计算所述重心关于一个水平轴的至少一个旋转角度，并且根据该至少一个旋转角度来计算用于所述洛伦兹电动机(1，2)的所述控制信号(C1，C2)，从而达到一个预定旋转刚度以支撑所述有效载荷(4)。一个典型的应用是悬置电子显微镜或者光刻设备，以便与地板震动隔离。