改质介孔二氧化硅粉体、生成低介电环氧树脂与低介电聚亚酰胺树脂的前驱溶液、低介电常数基板及其形成方法

摘要

一种改质介孔(即孔径为2－50纳米的孔)二氧化硅粉体，包括：一介孔二氧化硅粉体，该介孔为开放式孔，且该介孔二氧化硅粉体具有一由硅烷类偶合剂形成的改质表面。利用该改质介孔二氧化硅粉体以进一步形成低介电环氧树脂与低介电聚亚酰胺树脂以作为高频基板材料。