公开/公告号CN1745470A
专利类型发明专利
公开/公告日2006-03-08
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱住友硅晶株式会社;
申请/专利号CN200380109405.9
申请日2003-10-16
分类号H01L21/66;H01L21/265;H01L27/12;G01N23/225;
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人浦柏明
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-17 17:08:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-04-22
授权
授权
2006-05-03
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-03-08
公开
公开
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