包括CMOS VCSEL驱动器、高性能光检测器、以及CMOS光接收器的高速数据通道

摘要

一种高速光通道，包括光驱动器和在CMOS光接收器中的光检测器。光通道驱动器包括驱动无源元件(如集成回路电感器)的FET驱动器电路、以及垂直腔面发射激光(VCSEL)二极管。VCSEL二极管由偏置电源加偏压。集成回路电感器以CMOS技术集成在与FET驱动器和/或VCSEL二极管相同的IC芯片上。光检测器在半导体(硅)层中，半导体(硅)层可以在绝缘层上，即SOI。硅层上的一个或多个超薄金属电极(＜2000)形成肖特基垫垒二极管结，这又在超薄金属电极与肖特基垫垒二极管结之间形成包含二维电子气的量子阱。