法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-07-11
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2005-04-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-02-16
公开
公开
机译: 分离位于衬底的主侧上的半导体结构的方法包括在衬底的与主侧相对的另一主侧上产生层
机译: 带有半导体处理器电路的空间光调制器,放置在半导体基板上,用于驱动放置在该基板相对侧的调制器
机译: 带有半导体处理器电路的空间光调制器,放置在半导体基板上,用于驱动放置在该基板相对侧的调制器