使用终点系统以配合机床中个别加工站

摘要

本发明提供一种在半导体制造工艺(100)中加工一晶片(115)的技术。该方法包括首先从多工作站的加工机床(105)收集一工艺速率数据集，该数据集包含来自加工机床中至少两个工作站(110)的工艺速率数据。然后将收集的工艺速率数据传送至一控制器(145)，此控制器自动比较该加工速率数据而决定是否调整其工艺参数。该方法然后调整至少一工作站的工艺参数以配合至少一工作站(110)的工艺终点。