形成动态准中性束方式减少各种粒子束与目标物作用时的电子激发能损的方法

摘要

一种形成动态准中性束(dynamic quasi－neutralparticle beam)方式减少电子激发能损的方法，其是当一粒子束施加于一目标物的一选定作用区域时，外加一辅助辐射束于该作用区域，且该辅助辐射束近乎平行于粒子束。由于该外加辅助辐射束在作用区内加速传导电子(conduction electrons)或产生新的近同方向行进的传导电子，使得带电粒子束变成动态准中性粒子束，因而大幅减少粒子束与目标物作用间的电子激发能损。