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公开/公告号CN1529353A
专利类型发明专利
公开/公告日2004-09-15
原文格式PDF
申请/专利权人 复旦大学;
申请/专利号CN03151468.5
发明设计人 李亮;唐璞山;
申请日2003-09-29
分类号H01L21/82;H01L21/66;G06F17/50;
代理机构31200 上海正旦专利代理有限公司;
代理人陆飞;沈云
地址 200433 上海市邯郸路220号
入库时间 2023-12-17 15:30:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2006-11-01
发明专利申请公布后的视为撤回
2004-11-17
实质审查的生效
2004-09-15
公开
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