十字标记保持方法、十字标记保持装置以及曝光装置

摘要

一种十字标记保持装置，是将市售的十字标记保持装置(十字标记容器)改良成EB曝光的十字标记所使用的容器。十字标记保持装置(1)具有容器底座(3)与容器上盖(5)。从下方支撑圆形十字标记基板(R)外周缘上约略相等分离的三个点(支撑点)的支撑部材(19)是被固定在容器底座(3)上。软质且非粘着性的押压部材(31)是设置在上盖(5)，用弹性恢复力从十字标记基板(R)的支撑点的正上方押住支撑点，利用从上下方三个地方，支撑与SEMI规格晶片相同形状的EB曝光用十字标记的外周缘，十字标记可以被稳定地支撑。