非单晶薄膜、带非单晶薄膜的衬底、其制造方法及其制造装置、以及其检查方法及其检查装置、以及利用该非单晶薄膜的薄膜晶体管、薄膜晶体管阵列及图像显示装置

摘要

提供一种在减少晶粒的粒径分散的同时改进粒径的周期性的非单晶薄膜的制造方法。为此，本发明的非单晶薄膜的制造方法包括：在非单晶薄膜形成之后，以衍射光监测使激光照射最优化的工序；和在冷却衬底的状态下，进行激光照射的工序。