具有防止切割面上的粒子的措施的微型调节器装置

摘要

在具有通过切割或分割形成的切割面的微型调节器装置(2)中,切割面进行了用于防止释放通过切割产生的粒子的防释放处理。微型调节器装置可以具有一个多层构件,该多层构件包括多个压电陶瓷元件和多个交替堆积的内部电极。在这种情况下,该多层构件具有上述切割面。更好地,该微型调节器装置被安装在被固定的基板(3)和用于支持头(4)的支承弹簧(5)之间,其中微型调节器装置与连接到该微型调节器装置的基板和支撑弹簧部分一起被涂上涂层。