法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2004-07-14
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2000-08-30
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
2000-08-23
公开
公开
机译: 音像制品与在线词典的组合方法及其系统
机译: -根据这样的衍射光学元件中的任一个的制备衍射光学元件的方法,具有这种衍射光学元件的照明光学器件,-具有这种透镜系统的微光刻投影曝光设备,用于制造具有该光学系统的微电子部件的方法。使用这种投影曝光设备以及通过该方法生产的这种组件
机译: -根据这样的衍射光学元件中的任一个的制备衍射光学元件的方法,具有这种衍射光学元件的照明光学器件,-具有这种透镜系统的微光刻投影曝光设备,用于制造具有该光学系统的微电子部件的方法。使用这种投影曝光设备以及通过该方法生产的这种组件