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将工作液体注入微型喷射装置的装置和注入工作液体方法

摘要

本发明公开了一种将工作液体充填到微型喷射装置的装置和将工作液体充填到微型喷射装置的方法。充填有工作液体的容器位于与真空装置相连的真空腔室中,多个具有微型喷射装置的盒体被插入到工作液体容器中,且工作液体容器中的工作液体充填到各个微型喷射装置的加热腔室中。因此,可简化整体制造方法,从而提高了生产率并缩短了产品的整体制造时间。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2002-10-16

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2000-05-17

    公开

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  • 2000-04-19

    实质审查请求的生效

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