用于一部分与另一部分紧凑连接的组合式电和光边缘接触元件、其应用以及制造这种互连结构的方法

摘要

一种组合式的光和电互连装置,用于尤其是芯片模块(1、1’)的互连,它具有一个例如硅氧烷的弹性层(11),此层设置在特形成互连的陡峭边缘或角部连接表面上。在前表面(3)上,此层覆盖一个光波导的一端,该光波导具有一个芯(7),在顶表面上,此层承载导电区域(17),此导电区域连接至电传输线(5)。各前表面(3)彼此紧压,将光波导的端部连接。在顶表面上,导电区域(17)与一个连接器带状衬底(21)的表面上的互连导电区域(20)接触。这种互连结构能够连接紧密布置的电线和光波导,而不需要任何扩展构形。它尤其适于互连小型的多片模块和类似器件。