法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
1999-11-24
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1998-04-15
公开
公开
机译: 微机械零件和制造MEMS零件的短流程
机译: 微机械零件和制造MEMS零件的短流程
机译: 用于开发数据流程序的方法和数据处理系统,用户界面,用于执行数据流程序的数据处理系统,用于执行数据流程序的计算机可读介质存储命令,用于执行数据流程序的方法,用于数据流程序的方法和系统,用于优化数据流的程序用于执行优化方法的计算机可读介质存储命令