传感器中薄膜应力的补偿电路与方法

摘要

本发明提供了一种用以校正传感器的检测信号的电路与方法,其中检测信号减小了一个由传感器结构中的薄膜应力引入的负非线性误差成分,第一个变送器安置于一个具有显著弯曲应力的位置,用以产生一个检测信号,第二个变送器安置于一个弯曲应力基本上为零的位置,用以产生另一个检测信号,将第二个变送器的检测信号加到第一个变送器的检测信号上,以校正非线性误差,产生一个代表物理状态的传感器的线性输出检测信号(VOUT)。