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具有增加了四面体等同碳浓度的镀碳阻挡膜

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摘要

采用等离子体增强化学气相淀积法将碳淀积在衬底上，该方法所用的可分解前体中含有种子材料添加物。该种子材料是具有高浓度sp

1. 具有增加了四面体等同碳浓度的镀碳阻挡膜 [P] . 中国专利： CN1150461A . 1997-05-21
2. 一种低应力四面体非晶碳复合膜及其制备方法 [P] . 中国专利： CN111005000A . 2020-04-14
3. Carbon coated barrier film containing high concentration of tetrahedral coordinated carbon [P] . 日本专利： JPH10501302A . 1998-02-03

机译：含高浓度四面体配位碳的涂碳阻挡膜
4. Protective film mainly composed of a tetrahedral amorphous carbon film and a magnetic recording medium having the protective film [P] . 美国专利： US8888966B2 . 2014-11-18

机译：主要由四面体非晶碳膜和具有该保护膜的磁记录介质组成的保护膜
5. PROTECTIVE FILM MAINLY COMPOSED OF A TETRAHEDRAL AMORPHOUS CARBON FILM AND A MAGNETIC RECORDING MEDIUM HAVING THE PROTECTIVE FILM [P] . 美国专利： US2012082803A1 . 2012-04-05

机译：保护膜主要由四面体非晶碳膜和具有保护膜的磁记录介质组成