铝-氮-碳选择性吸收膜制备吸收膜的方法

摘要

本发明涉及一种太阳能选择性吸收膜和制备太阳能选择性吸收膜的方法。本发明的Al-N-C吸收膜由一金属铝薄膜和一层铝氮碳膜组成的金属陶瓷型选择性吸收膜，其光学性能α＝0.90-0.95，ε＝0.06-0.08。制备吸收膜是用磁控反应溅射铝靶制膜的方法。将清洗烘干的玻璃管放入镀膜机内，抽空，在氩气氛下溅射沉积一层金属铝，然后在氮及乙炔气氛下再溅射一层Al-N-C，形成一种复合层吸收膜。;本发明的选择性吸收膜主要用于玻璃真空集热管的内管表面覆涂的太阳能吸收膜。