公开/公告号CN111505228A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-07
原文格式PDF
申请/专利权人 中国地质科学院岩溶地质研究所;
申请/专利号CN202010299240.1
申请日2020-04-16
分类号G01N33/18(20060101);
代理机构11416 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人庞立岩;顾珊
地址 541000 广西壮族自治区桂林市七星区七星路50号
入库时间 2023-12-17 11:32:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-07
公开
公开
机译: 基板处理设备,沉积物监测设备和沉积物监测方法
机译: 基板处理设备,沉积物监测设备和沉积物监测方法
机译: 基板处理设备,沉积物监测设备和沉积物监测方法