通过局部热处理进行的多层石墨烯表膜的同时双侧涂覆

摘要

一种制造用于光刻设备的表膜的方法，所述方法包括：使用辐射加热(3)来局部加热所述表膜(4)，且在所述表膜的两侧上同时淀积涂覆材料。还披露了根据这种方法制造的表膜。还披露了在光刻设备中的具有双侧六方氮化硼涂层的多层石墨烯表膜。