晶圆定位校准装置及晶圆定位校准方法

摘要

本发明公开了一种晶圆定位校准装置及晶圆定位校准方法，晶圆定位校准装置包括：承载台、图像采集装置、晶圆传送装置和控制装置，图像采集装置用于采集晶圆位于承载台的实际位置图像；控制装置与图像采集装置和晶圆传送装置相连，控制装置内存储有晶圆位于第一基准位置的基准图像，控制装置获取图像采集装置采集的实际位置图像，并将实际位置图像与基准图像对比分析，以获取实际位置与基准图像的偏差数据，并根据偏差数据调节机械手臂以使晶圆落在第二基准位置。根据本发明实施例的晶圆定位校准装置，结构简单，稳定性好，耗能少，具备高速、精准、系统化数据管理等优点。