公开/公告号CN111403402A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-07-10
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华虹宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN202010190075.6
申请日2020-03-18
分类号
代理机构上海浦一知识产权代理有限公司;
代理人黎伟
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
入库时间 2023-12-17 10:41:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L27/11568 申请日:20200318
实质审查的生效
2020-07-10
公开
公开
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