公开/公告号CN111261557A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-09
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN202010072226.8
申请日2020-01-21
分类号
代理机构北京思创毕升专利事务所;
代理人孙向民
地址 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2023-12-17 09:51:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20200121
实质审查的生效
2020-06-09
公开
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