确定所关注的参数的值的方法、清除包含关于所关注的参数的信息的信号的方法

摘要

本公开涉及确定图案化过程的所关注的参数的值和清除包含关于所述所关注的参数的信息的信号的方法。在一种布置中，获得辐射的检测到的第一表示与第二表示。所述辐射由通过结构对偏振后的入射辐射的重引导提供。分别从重引导后的辐射的第一偏振分量与第二偏振分量导出检测到的所述第一表示与第二表示。检测到的所述第一表示的不对称性包括来自所述所关注的参数的贡献和来自不对称性的一个或更多个其它来源的贡献。相比于检测到的所述第一表示的不对称性，检测到的所述第二表示的不对称性包括相对于来自所述所关注的参数的贡献更大的来自不对称性的所述一个或更多个其它来源的贡献。检测到的所述第一表示与第二表示的组合用于确定所述所关注的参数的值。