公开/公告号CN111324956A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-06-23
原文格式PDF
申请/专利权人 北京卫星信息工程研究所;
申请/专利号CN202010103037.2
申请日2020-02-19
分类号
代理机构北京善任知识产权代理有限公司;
代理人金杨
地址 100080 北京市海淀区知春路61号
入库时间 2023-12-17 09:38:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F30/20 申请日:20200219
实质审查的生效
2020-06-23
公开
公开
机译: 用于显示装置即单光阀-投影仪的空间光光栅产生方法,涉及在与光栅辐射相对应的光栅中在互补的整个辐射光栅中提供每种光特性。
机译: 用于微光刻投影曝光系统的照明装置,包括带有两个光栅装置的二维光分布装置,用于接收来自主光源和副光源的光
机译: 光致光栅的制造方法及光学装置的制造方法