带声学阻抗失配结构的体声波谐振器、滤波器及电子设备

摘要

本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极；压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间；和电极支撑部，至少在压电层与顶电极之间形成间隙，其中：所述声学镜、底电极、压电层和顶电极在谐振器厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；沿所述顶电极的自由边缘的至少一部分，所述谐振器设置有声学阻抗失配结构。本发明还涉及一种滤波器，以及一种具有该滤波器的电子设备。