基于单层有序氧化锡纳米碗支化氧化铁纳米棒结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用

摘要

本发明公开了一种基于单层有序氧化锡纳米碗支化氧化铁纳米棒结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明先采用合成条件简单的硬模板法制备单层氧化锡纳米碗材料，后采用水热法制备支化氧化铁纳米棒，最终得到了单层氧化锡纳米碗支化氧化铁纳米棒多级异质结构。与现有制备工艺相比，本发明具有可重复性强，成品率高，制备效率高，可规模化生产，与硅集成电路工艺兼容等优点。本发明构建的基于异质结的多级复合纳米结构，其应用于气体传感时灵敏度大幅提升，响应时间和恢复时间大幅缩减，展现了更加优异的气敏性能；其能够对微量甲醛能实现超灵敏、高选择性探测，为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供了坚实的技术支持。