电压施加装置和输出电压波形的形成方法

摘要

在对形成于基片上的多个被检查器件检查电特性的检测器中，对被检查器件施加电压的电压施加装置，其在被赋予规定的设定条件时，设定作为过渡电压设定参数的过渡阶梯数、阶梯时间、阶梯电压，以能够形成适合于规定的设定条件的、具有多个过渡阶梯的阶梯状的过渡电压波形，基于此，形成具有阶梯状的过渡电压波形的输出电压。将输出电压输入到DUT阶梯时的响应为产生过冲的2阶以上的高阶延迟系统，各过渡阶梯的阶梯时间的终点被设定成二阶延迟系统的阶梯响应曲线中的从上升时间的终点至超调时间之间的时间。