用于高速细微线宽曝光的数字微镜装置控制器的曝光图像输出控制方法

摘要

实施例涉及用于高速细微线宽曝光的数字微镜装置控制器的曝光图像输出控制方法，在上述方法中，当数字微镜装置控制器(DMD)处于已倾斜的状态或台面以得到高速化的机理倾斜而移动时，从在利用基于曝光图像分辨率的存储单元进行建模来虚拟化的台面或掩膜上以数字微镜装置控制器与台面移动方向之间的角度旋转曝光图像的虚拟帧中输出，与以往那样不倾斜数字微镜装置控制器而根据一个实施例以规定的斜率使台面移动并平行地放置数字微镜装置控制器来进行曝光的情况相比，进一步实现细微线宽。