物理沉积增强水氧阻隔性能的可降解薄膜

摘要

本发明公开了一种可降解并具有高水氧阻隔性能薄膜的结构与制备工艺，可适用于各种超薄和柔性电子器件，医疗，生物等的高性能水氧阻隔封装的要求，尤其通过物理沉积技术实现纳米薄膜层与可降解薄膜相结合的设计和技术，实现了降解薄膜增强超高水氧阻隔的功能。