光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统

摘要

本发明公开了一种光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统，包括波前像差测量模块：其包括第一光源、第一准直镜、第一分束镜、第一二向色镜、第二二向色镜、反射镜、缩扩束镜组、微透镜阵列和相机；偏心测量模块：其包括第二光源、第二准直镜、分划板、第二分束镜、变焦镜头、成像组件、第一探测器以及共用的第二二向色镜；和非接触间距测量模块：其包括第三光源、第一耦合器、参考臂、第二耦合器、第二探测器、第三准直镜以及共用的第一二向色镜和第二二向色镜。本发明可以将偏心测试、间隔测试和波前像差测试三个功能一体化集成，实现三个功能系统同光路设计，三个功能模块互不影响，切换方便，能减少因为切换组件带来的误差。