一种面内行波型直线超声电机以及平台进给装置

摘要

本发明涉及一种面内行波型直线超声电机以及平台进给装置，超声电机包括定子组件和动子，定子组件整体呈圆柱结构，其包括圆环柱形定子，在圆环柱形定子的圆周面上均匀布设若干齿条，圆环柱形定子的两个端面分别设置对称的两个薄片圆环状弹性基体；还包括以圆环柱形定子为中心对称设置的两组压电陶瓷片组，每组压电陶瓷片的一侧与薄片圆环状弹性基体连接，每组压电陶瓷片的另一侧设置导电膜，薄片圆环状弹性基体位于圆环柱形定子与压电陶瓷片组之间；动子呈长条状设置，其悬设在圆环柱形定子的圆周表面；本发明保证定子尺寸改变时频率一致性容易调节，结构简单，易于微型化，同时能够保持高精度。